SPPL聚丙烯膜CMP漿液過濾濾芯特征
沿濾液方向的梯度孔徑分布,保證拋光漿料的品質,并延長漿料的使用壽命。
所有濾芯兼容性極佳,無論是酸性還是堿性漿料,均可過濾。
漏斗狀的過濾結構,對可能造成晶片表面傷害的團狀顆粒敏感。
為CMP流程提供嚴格的質量保證。
去除漿料中的大粒徑離子及成團的異質顆粒,提高晶片的成品率。
過濾面積大,高過濾效率。
熱熔法密封結構,密封性良好。
輝龍過濾的全面質量管理體系保證濾芯品質。
濾芯沿濾液方向的梯度孔徑分布結構,適合各種不同的拋光漿料,應用范圍廣。
通用性好,適合各種標準或者類似的壓力容器過濾器。